| 000 | 01486nam0a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\1060825 | ||
| 005 | 20250622094755.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 006221580 | ||
| 090 |
_a6475764 _c6475764 |
||
| 100 | _a20041129d1980 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aДоработка ионно-плазменной установки УРМЗ.279.014 системами контроля парциального давления газов в разрядной камере и толщины получаемых диэлектрических пленок _dModification of the ion-plasma installation urmz.279.014 by the monitoring systems of partial gas pressure in the discharging chamber and thickness of the obtained dielectric films _fА.Г. Сергеев, А.А. Тарасов, А.В. Струин, О.А. Волонцевич |
|
| 210 |
_aХарьков _cИРЭ _d1980 |
||
| 215 |
_a16 с. _cил. _d20 |
||
| 225 | 1 |
_aПрепринт _fАН УССР, Ин-т радиофизики и электроники, Харьков _v№ 149 |
|
| 320 | _aБиблиогр.: с. 16 | ||
| 510 | 0 | _aModification of the ion-plasma installation urmz.279.014 by the monitoring systems of partial gas pressure in the discharging chamber and thickness of the obtained dielectric films | |
| 701 | 1 |
_aСергеев _bА.Г. |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j81-4/13645 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||