000 01315nam1a22002411i 4500
001 rc\202707
005 20260407043839.0
035 _a(NLR Aleph) 005621630
090 _a6500372
_c6500372
100 _a20030307d1992 u |0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _ay |||||||||
200 1 _aТОНКИЕ пленки в электронике
_eМатериалы III Межрегион. совещ.
210 _aМ.
_aЙошкар-Ола
_cБ. и.
_d1992
215 _d21
300 _aВ надзаг.: М-во пром-сти Рос. Федерации, Департамент пром-сти средств связи, Науч.-произв. об-ние "Техномаш", Центр. н.-и. технол. ин-т, Гос. ком. науки и высш. шк. Рос. Федерации, Мар. политехн. ин-т, Рос. акад. наук, Ин-т физ. химии, МГП Рос. НТО радиотехники, электроники и связи им. А.С. Попова
300 _aВ одном переплете
712 0 2 _a"Техномаш", научно-производственное объединение
_cМосква
_3RU\NLR\AUTH\8810016349
_9530544
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j94-3/1708
942 _cBOOK