| 000 | 00834nam2a22002411 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\202708 | ||
| 005 | 20250621062447.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005621631 | ||
| 090 |
_a6500380 _c6500380 |
||
| 100 | _a20030307d1992 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay ||||||||| | ||
| 200 | 0 | _aЧ. 1 | |
| 210 |
_d1992 _aБ. м. |
||
| 215 | _a73 с. | ||
| 320 | _aБиблиогр. в конце ст. | ||
| 461 | 0 |
_1001rc\202707 _12001#$aТОНКИЕ пленки в электронике$eМатериалы III Межрегион. совещ.$vЧ. 1 _96500372 _cМ. _d1992 _nБ. и. _oМатериалы III Межрегион. совещ. _tТОНКИЕ пленки в электронике _vЧ. 1 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j94-3/1708 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||