000 00881nam0a22002531 4500
001 rc\1065905
005 20250622095852.0
035 _a(NLR Aleph) 006226291
090 _a6524016
_c6524016
100 _a20041129d1980 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _ay |||||||||
200 1 _aЛазерное напыление тонких пленок
_fА.Н. Пилянкевич, Ю.А. Быковский, М.Б. Лощинин и др.
210 _aКиев
_cИПМ
_d1980
215 _a33 с.
_d20
225 1 _aПрепринт
_fАН УССР, Ин-т пробл. материаловедения
_v№ 3
320 _aБиблиогр.: с. 29-32
701 1 _aПилянкевич
_bА.Н.
_gАлександр Николаевич
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j81-4/4425
942 _cBOOK
980 _aNB