000 01097nam0a22002771 4500
001 rc\46987
005 20021216124920.5
035 _a(NLR Aleph) 005327039
090 _a6550488
_c6550488
100 _a20021216d1995 u |0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aРадиационно-стимулированная диффузия примесей в монокристаллах кремния и алмаза
_fА.Ю. Дидык, В.С. Варниченко, А.М. Зайцев
210 _aДубна
_cОИЯИ
_d1995
215 _a12 с.
_cил.
_d22
225 1 _aСообщения Объединенного института ядерных исследований
_vР14-95-144
320 _aБиблиогр.: с. 11-12 (11 назв.)
700 1 _aДидык
_bА. Ю.
_f1952-2016
_gАлександр Юрьевич
_3RU\NLR\AUTH\777048
701 1 _aВариченко
_bВ. С.
701 1 _aЗайцев
_bА. М.
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j95-6/268
942 _cBOOK
980 _aNB