000 01995nam0a2200349 4500
001 RU\NLR\bibl\1026407
005 20250614235427.0
010 _a5-93272-364-5
_9500
021 _aRU
_b2006-73375
_93706
035 _a(NLR Aleph) 001013913
090 _a655984
_c655984
100 _a20061221d2006 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aБазовые технологии микро- и наноэлектроники
_eучебное пособие для студентов специальности 210104
_fВ.М. Воротынцев, В.А. Перевощиков, В.Д. Скупов
_gФедер. агентство по образованию, Гос. образоват. учреждение высш. проф. образования Нижегор. гос. техн. ун-т
210 _aНижний Новгород
_cНижегородский государственный технический университет
_d2006
215 _a356,[1] с.
_cил.
_d21
320 _aБиблиогр. в конце разделов
606 1 _aРадиоэлектронная аппаратура миниатюрная
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_xПроизводство
_91835427
_3RU\NLR\auth\66830354
606 1 _aНаноструктуры
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_xПроизводство
_92084027
_3RU\NLR\auth\661260103
686 _aЗ844.1-06я73-1
700 1 _aВоротынцев
_bВ. М.
_gВладимир Михайлович
_4070
701 1 _aПеревощиков
_bВ. А.
_gВиктор Александрович
_4070
701 1 _aСкупов
_bВ. Д.
_gВладимир Дмитриевич
_4070
801 0 _aRU
_bNLR
_c20061221
_gRCR
801 1 _aRU
_bNLR
_c20061221
830 _aавт. по кн.
942 _cBOOK
980 _aNB
980 _aNBR