000 01261nam0a22002651 4500
001 rc\49580
005 20021216125142.7
010 _a5-7702-0203-3
_9295
035 _a(NLR Aleph) 005328799
090 _a6568734
_c6568734
100 _a20021216d1991 u |0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aНовые материалы для толстопленочной технологии в микроэлектронике
_eСб. науч. тр.
_fАН УССР. Ин-т пробл. материаловедения им. И.Н. Францевича, Науч. совет по пробл. "Порошковая" металлургия, композицион. материалы"
_g[Редкол.: Л.А. Дворина (отв. ред.) и др.]
210 _aКиев
_cИПМ
_d1991
215 _a116 с.
_cил.
_d20
320 _aБиблиогр. в конце ст.
702 1 _aДворина
_bЛ. А.
_gЛюдмила Андреевна
_4340
712 0 2 _aИнститут проблем материаловедения им. И.Н.Францевича
_cКиев
_3RU\NLR\AUTH\889931394
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j91-3/8544
942 _cBOOK
980 _aNB