| 000 | 01119nam0a22002771 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\1077044 | ||
| 005 | 20250622102234.0 | ||
| 090 |
_a6627524 _c6627524 |
||
| 100 | _a20041129d1980 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aФизико-химические процессы в микроэлектронной технологии _eУчеб. пособие _fВ.И. Земский, И.К. Мешковский, А.Ф. Новиков |
|
| 210 |
_aЛ. _cБ. и. _d1980 |
||
| 215 |
_a72 с. _cграф. _d20 |
||
| 300 | _aВ надзаг.: М-во высш. и сред. спец. образования СССР, Ленингр. ин-т точ. механики и оптики. Каф. общ. и физ. химии | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 70 | ||
| 700 | 1 |
_aЗемский _bВ.И. _gВладимир Иванович |
|
| 701 | 1 |
_aМешковский _bИ.К. |
|
| 701 | 1 |
_aНовиков _bА.Ф. |
|
| 852 |
_aNLR _j81-4/5849 |
||
| 942 | _cBOOK | ||