| 000 | 01094nam1a22002531i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\3569357 | ||
| 005 | 20240723222210.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 007690670 | ||
| 090 |
_a6637996 _c6637996 |
||
| 100 | _a20130115d1971 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay z ||||| | ||
| 200 | 1 |
_aИонно-лучевой метод введения примесей в полупроводниковой технологии _fСост.: Пинес Г.Э., Рокицкая Я.П. Ч. 2- |
|
| 210 |
_aМосква _cБ. и. _d1971 |
||
| 215 | _d21 | ||
| 225 | 1 |
_aМинистерство электронной промышленности СССР. Институт "Электроника". Тематические указатели литературы _eТУЛ _iСерия: Полупроводниковые приборы |
|
| 300 | _aНа обл. сост. не указаны | ||
| 700 | 1 |
_aПинес _bГ.Э. _4220 |
|
| 701 | 1 |
_aРокицкая _bЯ.П. _4220 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _jС315-410/Т-32 |
||
| 942 | _cBOOK | ||