000 01142nam0a22002771 4500
001 rc\3575938
005 20250610043755.0
021 _aRU
_bП632-70
035 _a(NLR Aleph) 007694320
090 _a6675358
_c6675358
100 _a20130115d1969 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa z |||||
200 1 _aПолучение окисных пленок методом реактивного плазменного распыления
_e(По зарубежным материалам за 1966-1968 гг.)
_fМ-во электронной пром-сти СССР
210 _a[Москва]
_cБ. и.
_d1969
215 _a39 с.
_cил.
_d20
225 1 _aОбзоры по электронной технике
_vВып. 39 (108)
_iСерия: Технология и организация производства
309 _aОтпеч. множит. аппаратом
320 _aБиблиогр.: с. 36-37
700 1 _aПатракова
_bА.Я.
_gАлла Яковлевна
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_jП51/94
942 _cBOOK
980 _aNB