| 000 | 01244nam0a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\3285673 | ||
| 005 | 20250609173512.0 | ||
| 021 |
_aRU _bЧ1387-70 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 007400540 | ||
| 090 |
_a6707596 _c6707596 |
||
| 100 | _a20130115d1969 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay z ||||| | ||
| 200 | 1 |
_aФизико-химические методы контроля и технологические способы обработки материалов в микроэлектронике _eМатериалы Первого симпозиума (11-13 ноября 1969 г.) _fНауч. ред. канд. хим. наук С.А. Кутолин |
|
| 210 |
_aМосква _cБ. и. _d1969 |
||
| 215 |
_a124 с. _d20 |
||
| 225 | 1 |
_aМинистерство электронной промышленности СССР. Институт "Электроника". Труды конференций по электронной технике _vВып. 2 |
|
| 309 | _aОтпеч. множит. аппаратом | ||
| 702 | 1 |
_aКутолин _bС.А. _gСергей Алексеевич _4340 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _jП11/2650 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||