| 000 | 01060nam1a22002051i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\1001307 | ||
| 005 | 20240723224827.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 006246953 | ||
| 090 |
_a6717450 _c6717450 |
||
| 100 | _a20041129d1981 u |0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aСовременные технологические процессы в микроэлектронике _eМетод. пособие по курсам "Технология микросхем и элементов ЭВА", "Конструкции и технология микросхем", "Соврем. технол. процессы в пр-ве БИС и СБИС" для спец. 0705, 0648 _fМ-во высш. и сред. спец. образования БССР. Мин. радиотехн. ин-т. Каф. технологии радиоэлектрон. аппаратуры |
|
| 210 |
_aМинск _cМРТИ _d1981 |
||
| 215 | _d21 | ||
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j82-4/29112 |
||
| 942 | _cBOOK | ||