| 000 | 02076nam2a22002531 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\1001308 | ||
| 005 | 20250622104330.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 006246954 | ||
| 090 |
_a6717457 _c6717457 |
||
| 100 | _a20041129d1981 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aПолучение конфигурации элементов интегральных схем плазменными методами _fС.В. Грушецкий, А.П. Достенко |
|
| 210 |
_d1981 _aБ. м. |
||
| 215 |
_a49 с. _cил. |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 45-49 | ||
| 461 | 0 |
_1001rc\1001307 _12001#$aСовременные технологические процессы в микроэлектронике$eМетод. пособие по курсам "Технология микросхем и элементов ЭВА", "Конструкции и технология микросхем", "Соврем. технол. процессы в пр-ве БИС и СБИС" для спец. 0705, 0648$fМ-во высш. и сред. спец. образования БССР. Мин. радиотехн. ин-т. Каф. технологии радиоэлектрон. аппаратуры$vЧ. 4 _96717450 _cМинск _d1981 _fМ-во высш. и сред. спец. образования БССР. Мин. радиотехн. ин-т. Каф. технологии радиоэлектрон. аппаратуры _nМРТИ _oМетод. пособие по курсам "Технология микросхем и элементов ЭВА", "Конструкции и технология микросхем", "Соврем. технол. процессы в пр-ве БИС и СБИС" для спец. 0705, 0648 _tСовременные технологические процессы в микроэлектронике _vЧ. 4 |
|
| 701 | 1 |
_aГрушецкий _bС.В. _gСвятослав Васильевич |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j82-4/29112 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||