000 01654nam2a22002411 4500
001 rc\1001310
005 20250622104331.0
035 _a(NLR Aleph) 006246955
090 _a6717467
_c6717467
100 _a20041129d1981 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aУчебное пособие по курсу "Технология микросхем" для специальностей 0705, 0648
_fА.П. Достенко, С.В. Грушецкий
210 _d1981
_aБ. м.
215 _a44 с.
_cил.
320 _aБиблиогр.: с. 42-44
461 0 _1001rc\2307372
_12001#$aСовременные технологические процессы в микроэлектронике$eУчеб. пособие по курсу "Технология микросхем и элементов ЭВА"$eЧ. 1-$fМ-во высш. и сред. образования БССР. Мин. радиотехн. ин-т. Кафедра технологии радиоэлектронной аппаратуры$vЧ. 4
_96960669
_cМинск
_d1977-
_fМ-во высш. и сред. образования БССР. Мин. радиотехн. ин-т. Кафедра технологии радиоэлектронной аппаратуры
_nБ. и.
_oУчеб. пособие по курсу "Технология микросхем и элементов ЭВА" : Ч. 1-
_pт.
_tСовременные технологические процессы в микроэлектронике
_vЧ. 4
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j77-4/16519
942 _cBOOK
980 _aNB