000 00927nam2a22002531 4500
001 rc\1010700
005 20250622104426.0
035 _a(NLR Aleph) 006247388
090 _a6721109
_c6721109
100 _a20041129d1981 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aФизико-технические основы
_e(По данным отеч. и зарубеж. печати за 1973-1981 гг.)
210 _d1981
_aБ. м.
215 _a58 с.
_cил.
225 1 _a...
_vВып. 840
_i...
_vВып. 7
320 _aБиблиогр.: с. 54-57
461 0 _1001rc\1010699
_12001#$aНовые применения лучистой энергии в микроэлектронике$vЧ. 1
_1700#1$aЗотов$bВ.В.$gВладислав Владимирович
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_jП51/94
942 _cBOOK
980 _aNB