000 01034nam0a22002771 4500
001 rc\398770
005 20250621072147.0
035 _a(NLR Aleph) 005647724
090 _a6737409
_c6737409
100 _a20030616d1989 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aПространственное распределение имплантированных ионов в кристаллах
_fАбдрашитов В.Г., Рыжов В.В., Санникова С.В.
210 _aТомск
_cТНЦ СО АН СССР
_d1989
215 _a13 с.
_cил.
_d20
225 1 _aПрепринт
_fАН СССР. Сиб. отд-ние Том. науч. центр
_v№ 61
320 _aБиблиогр.: с. 13
700 1 _aАбдрашитов
_bВ.Г.
_gВладимир Геннадьевич
701 1 _aРыжов
_bВ.В.
701 1 _aСанникова
_bС.В.
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j90-4/113
942 _cBOOK
980 _aNB