000 01217nam0a22002771 4500
001 rc\902178
005 20250622105225.0
035 _a(NLR Aleph) 006251169
090 _a6753377
_c6753377
100 _a20041129d1984 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aРаспыление твердых тел ионной бомбардировкой
_e[Вып. 1]
_eФиз. распыление одноэлементных твердых тел
_f[Р. Бериш, П. Зигмунд, М. Робинсон и др.]
_gПод ред. Р. Бериша
_gПер. с англ. под ред. В.А. Молчанова
210 _aМ.
_cМир
_d1984
215 _a336 с.
_cил.
_d22
225 1 _aПроблемы прикладной физики
300 _aПеревод изд.: Sputtering by particle bonibardment. 1. With contributions by H.H. Andersen, H. Bay R. Behrish (Berlin etc., 1981)
300 _aАвт. указаны в огл.
320 _aБиблиогр. в конце глав
320 _aПредм. указ.: с. 332-335
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j84-5/1923
942 _cBOOK
980 _aNB