| 000 | 00886nam1a22002411i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\643761 | ||
| 005 | 20240723230545.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005951740 | ||
| 090 |
_a6770794 _c6770794 |
||
| 100 | _a20031121d1986 u |0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aПрименение лазерных методов в технологии полупроводниковых приборов _f[Сост. Чашина С.В., Ушаков Ф.А.] |
|
| 210 |
_aМ. _cБ. и. _d1986 |
||
| 215 | _d30 | ||
| 225 | 1 |
_aТУЛ _fВсесоюз. электротехн. ин-т им. В.И. Ленина. ОНТИ |
|
| 300 | _aНа обл. только загл. сер.: Темат. указ. лит. | ||
| 702 | 1 |
_aЧащина _bС.В. _4220 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _bС _jП-1/819 |
||
| 942 | _cBOOK | ||