| 000 | 00975nam0a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\81717 | ||
| 005 | 20250620173314.0 | ||
| 010 |
_a5-230-04179-X _91000 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005351126 | ||
| 090 |
_a6798112 _c6798112 |
||
| 100 | _a20021216d1992 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aОсобенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников _eМонография |
|
| 210 |
_aН. Новгород _cИзд-во Нижегород. ун-та _d1992 |
||
| 215 |
_a195, [3] с. _cил. _d21 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 189-196 (134 назв.) | ||
| 700 | 1 |
_aПеревощиков _bВ.А. _gВиктор Александрович |
|
| 701 | 1 |
_aСкупов _bВ.Д. _gВладимир Дмитриевич |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j93-5/1265 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||