| 000 | 00863nam0a22002531 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\102468 | ||
| 005 | 20250620182312.0 | ||
| 010 |
_a5-256-01033-6 _94000 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005365228 | ||
| 090 |
_a6941065 _c6941065 |
||
| 100 | _a20021216d1991 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aЛазерная технология интегральных схем _fЮ.Х. Гукетлев, А.А. Васенков, А.Г. Гарицын, В.В. Федоренко |
|
| 210 |
_aМ. _cРадио и связь _d1991 |
||
| 215 |
_a320 с. _cил. _d21 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 249-274 (365 назв.) | ||
| 701 | 1 |
_aГукетлев _bЮ.Х. _gЮрий Хаджибирамович |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j91-3/11910 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||