| 000 | 01054nam0a22002411 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\420770 | ||
| 005 | 20030616170405.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005668272 | ||
| 090 |
_a6946250 _c6946250 |
||
| 100 | _a20030616d1987 u |0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aВакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники _fЦентр. правл. НТО приборостроит. пром-сти им. С.И. Вавилова, Заоч. ин-т, Курсы повышения квалификации ИТР по вакуум. аппарато- и приборостроению (II концентр.) |
|
| 210 |
_aМ. _cМашиностроение _d1987 |
||
| 215 |
_a71 с. _cил. _d21 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 70 (8 назв.) | ||
| 700 | 1 |
_aДанилин _bБ. С. _gБорис Степанович |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j87-4/11666 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||