000 01027nam0a22002771 4500
001 rc\3626427
005 20250610052421.0
035 _a(NLR Aleph) 007720814
090 _a6949261
_c6949261
100 _a20130115d1971 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _ay z |||||
200 1 _aМатериалы, применяемые в производстве полупроводниковых приборов
_fМ-во электронной пром-сти СССР
210 _aМосква
_cБ. и.
_d1971
215 _a160 с.
_d28
300 _aНа обороте тит. л. авт.: Аракчеева А.И., Бельмас И.Н., Васенков А.А. [и др.]
333 _aДля служебного пользования. Экз. № 8
701 1 _aБельмас
_bИ.Н.
701 1 _aАракчеева
_bА.И.
701 1 _aВасенков
_bА.А.
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j71-50к/2917
942 _cBOOK
980 _aNB