000 00927nam0a22002651 4500
001 rc\742132
005 20250622114629.0
035 _a(NLR Aleph) 006271523
090 _a6954481
_c6954481
100 _a20040301d1985 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aОсновы технологии сверхбольших интегральных схем
_fЯ. Таруи
_gПеревод с яп. В.А. Лазарева
_gПод ред. В.Г. Ржанова
210 _aМ.
_cРадио и связь
_d1985
215 _a479 с.
_cил.
_d22
300 _aЗагл. пер.: Основы технологии СБИС
320 _aБиблиогр.: с. 454-474
517 0 _aОсновы технологии СБИС
700 0 _aТаруи Ясуо
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j86-5/3138
942 _cBOOK
980 _aNB