000 01251nam0a22002771 4500
001 rc\422369
005 20030616170438.5
035 _a(NLR Aleph) 005669788
090 _a6961854
_c6961854
100 _a20030616d1988 u |0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aФизические основы неразрушающего СВЧ-резонаторного метода локального контроля электрофизических параметров полупроводников
_fМ.В. Детинко, Ю.В. Медведев, А.С. Петров
210 _aТомск
_cИзд-во Том. ун-та
_d1988
215 _a29 с.
_cил.
_d21
225 1 _aПрепринт
_fСиб. физ.-техн. ин-т им. В.Д. Кузнецова при Том. гос. ун-те
_v№ 3
320 _aБиблиогр.: с. 27-29 (29 назв.)
700 1 _aДетинко
_bМ. В.
_gМихаил Владимирович
701 1 _aМедведев
_bЮ. В.
_gЮрий Васильевич
701 1 _aПетров
_bА. С.
_gАлексей Сергеевич
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j89-4/3079
942 _cBOOK
980 _aNB