| 000 | 01065nam0a22002771 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\743451 | ||
| 005 | 20250622114937.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 006272568 | ||
| 090 |
_a6965366 _c6965366 |
||
| 100 | _a20040301d1985 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aИнтегральные схемы _eМатериалы, приборы, изготовление _fПер. с англ. М.Б. Левина, В.Г. Микуцкого _gПод ред. М.В. Гальперина |
|
| 210 |
_aМ. _cМир _d1985 |
||
| 215 |
_a504 с. _cил. _d22 |
||
| 300 | _aПеревод изд.: Integrated circuits: materials, deviees, and labrication / William C. Till, James Luxon. (Englewood Cliffs, N. J., 1982) | ||
| 320 | _aБиблиогр. в конце глав | ||
| 320 | _aПредм. указ.: с. 496-501 | ||
| 700 | 1 |
_aТилл _bУ. _gУильям |
|
| 701 | 1 |
_aЛаксон _bД. _gДжеймс |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j85-5/5273 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||