000 01723nam0a2200421 4500
001 RU\NLR\bibl\126783
005 20260409072026.0
021 _aRU
_b2000-37173
_91716
035 _a(NLR Aleph) 000124199
090 _a707999
_c707999
100 _a20001204d2000 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aФормирование электропроводящих структур с нанометровыми размерами
_fПухов А. А., Рыжиков И. А.
_gИн-т теорет. и приклад. электродинамики
210 _aМ.
_cОИВТ
_d2000
215 _a56, [1] с.
_cил.
_d20
225 1 _aПрепринт
_fРос. акад. наук, Объед. ин-т высок. температур
_vN 1-442
313 _aдля опто- и микроэлектроники
320 _aБиблиогр.: с. 51-55
606 0 _aРадиоэлектронная аппаратура миниатюрная
_xДетали
_92016302
_3RU\NLR\auth\661212581
606 0 _aОптоэлектронные приборы
_xДетали
_91779899
_3RU\NLR\auth\66799963
606 _aНанотехнологии
_3RU\NLR\auth\66830353
_91835426
610 0 _aНаноструктуры (физ.)
675 _a621.382.049.77.002
_v3
_zrus
686 _a47
_2rugasnti
686 _a32.844.1-06
_2rubbk
686 _aЗ844.1-04
686 _aЗ854.3-04
700 1 _aПухов
_bА. А.
_4070
701 1 _aРыжиков
_bИ. А.
_4070
801 0 _aRU
_bRKP
_c20001204
_gPSBO
801 1 _aRU
_bRKP
_c20001204
801 2 _aRU
_bNLR
_c20100906
_grcr
852 _aNLR
_j2000-4/8580
942 _cBOOK
980 _aNB