| 000 | 01289nam0a22002771 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\805081 | ||
| 005 | 20041129090917.1 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005989043 | ||
| 090 |
_a7108292 _c7108292 |
||
| 100 | _a20041129d1984 u |0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 | _aСовременное состояние и тенденции развития технологии полупроводниковых интегральных микросхем | |
| 210 |
_aМ. _cЦНИИТЭИ приборостроения _d1984 |
||
| 215 |
_a53 с. _cил. _d21 |
||
| 225 | 1 |
_aПриборы, средства автоматизации и системы управления _hСерия 9 _iЭкономика и технология приборостроения _eОбзор информ. _fЦНИИТЭИ приборостроения _vВып. 5 |
|
| 300 | _aАвт. указаны на 2 с. обл. | ||
| 300 | _aВ надзаг. также: М-во приборостроения, средств автоматизации и систем упр. | ||
| 700 | 1 |
_aЛизин _bА. И. |
|
| 701 | 1 |
_aДемиденко _bВ. В. |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _jП10/5586 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||