000 01520nam0a2200301 4500
001 RU\NLR\bibl\127804
005 20260405101545.0
020 _aRU-2299
_9Летопись авторефератов диссертаций
021 _aRU
_b98-02967a
035 _a(NLR Aleph) 000125206
090 _a713946
_c713946
100 _a20000615d1997 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa dm |||||
200 1 _aИсследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования
_eДис. в виде науч. докл. на соиск. учен. степ. д.т.н.
_eСпец. 01.04.04
_fНИИ электрон. и ион. оптики
210 _aМ.
_d1997
215 _a55 с.
_cил.
_d21
320 _aБиблиогр.: с. 51-55
610 0 _aФизико-математические науки - Физика. Астрономия -
686 _a01.04.04
_2oksvnk
700 1 _4070
_7ca
_8rus
_aФилачев
_bА. М.
_f1950-
_gАнатолий Михайлович
_920454
_3RU\NLR\auth\7737466
801 0 _aRU
_bRKP
_c20000615
_gPSBO
801 1 _aRU
_bRKP
_c20000615
801 2 _aRU
_bNLR
_c20060426
_grcr
852 _aNLR
_jА98/2967
942 _cBOOK
980 _aNB