| 000 | 01268nam0a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\441855 | ||
| 005 | 20030616171232.7 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005687648 | ||
| 090 |
_a7141571 _c7141571 |
||
| 100 | _a20030616d1988 u |0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aРеактивное нанесение в вакууме слоев нитрида титана и применение их в системах контактной металлизации полупроводниковых приборов _e(По данным зарубеж. и отеч. печати за 1975-1987 г.) |
|
| 210 |
_aМ. _cИзд-во ЦНИИ "Электроника" _d1988 |
||
| 215 |
_a60 с. _cил. _d21 |
||
| 225 | 1 |
_aОбзоры по электронной технике _fЦНИИ "Электроника" _vВып. 1366 _hСерия 2 _iПолупроводниковые приборы _vВып. 6 |
|
| 300 | _aВ надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 52-58 | ||
| 700 | 1 |
_aСейдман _bЛ. А. _gЛев Александрович |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _jП51/94 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||