000 01945nam0a2200397 4500
001 RU\NLR\bibl\128385
005 20250617103849.0
020 _aRU
_b98-37561
_9Книжная летопись
021 _aRU
_b98-30210
_91431
035 _a(NLR Aleph) 000125778
090 _a717360
_c717360
100 _a20000410d1998 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _ay |||||||||
200 1 _aФизические и физико-химические основы ионной имплантации
_eIV всерос. семинар, 9-11 июня 1998 г.
_eТез. докл.
210 _aН. Новгород
_cННГУ
_d1998
215 _a117 с.
_d20
300 _aВ надзаг.: М-во общ. и проф. образования Рос. Федерации, Нижегор. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского, Науч.-исслед. ин-т измер. систем им. Ю. Е. Седакова, Рос. фонд фундам. исслед.
300 _aНа тит. л.: 80 лет ННГУ
309 _aНа тит. л.: Федер. целевая программа "Гос. поддержка интеграции высш. образования и фундам. науки на 1997-2000 гг."
320 _aБиблиогр. в конце докл.
606 1 _aИонная имплантация
_jСъезды, совещания и т.п.
_91178469
_3RU\NLR\auth\66473928
610 0 _aИонное легирование - Физико-химические основы
675 _a621.7/.9.048.7:544(043.2)
_v3
_zrus
686 _a55
_2rugasnti
686 _a34.5
_2rubbk
686 _aВ373.1я431
801 0 _aRU
_bRKP
_c20000410
_gPSBO
801 1 _aRU
_bRKP
_c20000410
801 2 _aRU
_bNLR
_c20050824
_grcr
852 _aNLR
_j98-3/8478
942 _cBOOK
980 _aNB