| 000 | 00983nam0a22002531 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\766649 | ||
| 005 | 20040301142830.5 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 006293727 | ||
| 090 |
_a7177501 _c7177501 |
||
| 100 | _a20040301d1985 u |0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aФизико-технологические основы микроэлектроники _eСб. науч. тр. _fТашк. политехн. ин-т Абу Райхана Беруни _g[Редкол.: Р.С. Касымова (отв. ред.) и др.] |
|
| 210 |
_aТашкент _cТашПИ _d1985 |
||
| 215 |
_a96 с. _cил. _d20 |
||
| 320 | _aБиблиогр. в конце ст. | ||
| 702 | 1 |
_aКасымова _bР. С. _4340 |
|
| 712 | 0 | 2 |
_aТашкентский политехнический ин-т им. А. Беруни _3RU\NLR\AUTH\886959 |
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j86-4/3255 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||