000 01511nam0a22002891 4500
001 rc\449685
005 20030616171513.2
035 _a(NLR Aleph) 005694829
090 _a7214780
_c7214780
100 _a20030616d1987 u |0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aФизико-химические основы оптимизации параметров герметизации полимерными материалами в производстве интегральных схем и полупроводниковых приборов
_e(По данным отеч. и зарубеж. печати за 1975-1985 гг.)
_fВ.С. Сотников, В.А. Будков, Б.А. Астапов
210 _aМ.
_cИзд-во ЦНИИ "Электроника"
_d1987
215 _a57 с.
_cграф.
_d21
225 1 _aОбзоры по электронной технике
_fЦНИИ "Электроника"
_vВып. 1285
_hСерия 6
_iМатериалы
_vВып. 4
300 _aВ надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР
320 _aБиблиогр.: с. 50-57
700 1 _aСотников
_bВ. С.
_gВасилий Семенович
701 1 _aАстапов
_bБ. А.
_gБорис Александрович
701 1 _aБудков
_bВ. А.
_gВладимир Александрович
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_jП51/94
942 _cBOOK
980 _aNB