000 01159nam0a22002651 4500
001 rc\3381087
005 20130115153844.1
021 _aRU
_bП1409-73
035 _a(NLR Aleph) 007452558
090 _a7231622
_c7231622
100 _a20130115d1973 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa z |||||
200 1 _aАвтоматизированные системы контроля параметров интегральных схем с высоким уровнем интеграции
_e(Обзор по материалам зарубеж. печати за 1970-1972 гг.)
_fМ-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника"
210 _aМосква
_cБ. и.
_d1973
215 _a31 с.
_cил.
_d21
225 1 _aОбзоры по электронной технике
_vВып. 97
_iСерия: Микроэлектроника
_v№ 3. Март 1973 г.
320 _aБиблиогр.: с. 29-30
700 1 _aАжоткин
_bД. И.
_gДмитрий Ильич
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_jП51/94
942 _cBOOK
980 _aNB