000 00838nam0a22002531 4500
001 rc\461928
005 20030616171955.7
035 _a(NLR Aleph) 005706332
090 _a7330915
_c7330915
100 _a20030616d1988 u |0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aРазвитие рентгеновской и ионной литографии
210 _aМ.
_cЗнание
_d1988
215 _a63, [1] с.
_cил.
_d20
225 1 _aНовое в жизни, науке, технике
_iРадиоэлектроника и связь
_v9/1988
320 _aБиблиогр.: с. 45 (11 назв.)
700 1 _aВасичев
_bБ. Н.
_gБорис Никитович
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j88-4/17930
942 _cBOOK
980 _aNB