000 01151nam0a22002771 4500
001 rc\465690
005 20030616172138.1
035 _a(NLR Aleph) 005709817
090 _a7366065
_c7366065
100 _a20030616d1988 u |0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aИзмерение глубины рельефа фазовых киноформных структур
_fЗилинг К.К., Солдатенков И.С., Терпугов Н.В.
210 _aНовосибирск
_cИн-т физики полупроводников
_d1988
215 _a[1], 25 с.
_cил.
_d19
225 1 _aПрепринт
_fАН СССР. Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников
_v№ 28
320 _aБиблиогр.: с. 25
700 1 _aЗилинг
_bК. К.
_gКарл Константинович
701 1 _aСолдатенков
_bИ. С.
_gИван Степанович
701 1 _aТерпугов
_bН. В.
_gНиколай Васильевич
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j89-4/3962
942 _cBOOK
980 _aNB