000 01116nam0a22002771 4500
001 rc\466611
005 20250621094618.0
090 _a7374941
_c7374941
100 _a20030616d1988 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _ay |||||||||
200 1 _aВзаимодействие примесей и их пространственное распределение в полупроводниках
_fВ.В. Зуев, Э.А. Маныкин, С.С. Махмудов
210 _aМ.
_cМИФИ
_d1988
215 _a22 с.
_d20
225 1 _aПрепринт
_fМ-во высш. и сред. спец. образования СССР, Моск. инж.-физ. ин-т
_v019-88
320 _aБиблиогр.: с. 20-21
700 1 _aЗуев
_bВ.В.
_gВячеслав Васильевич
701 1 _aМаныкин
_bЭ.А.
_gЭдуард Анатольевич
701 1 _aМахмудов
_bС.С.
_gСупхон Садриевич
852 _aNLR
_j89-4/906
942 _cBOOK