000 01341nam0a22002771 4500
001 rc\467414
005 20250621094744.0
035 _a(NLR Aleph) 005711482
090 _a7382757
_c7382757
100 _a20030616d1988 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aИсточники излучения для рентгеновской литографии
_e(По данным отеч. и зарубеж. печати за 1975-1987 гг.)
_fС.А. Иванов, С.В. Кириенко, Г.А. Щукин
210 _aМ.
_cИзд-во ЦНИИ "Электроника"
_d1988
215 _a34 с.
_cил.
_d21
225 1 _aОбзоры по электронной технике
_fЦНИИ "Электроника"
_vВып. 1372
_hСерия 4
_iЭлектровакуумные и газоразрядные приборы
_vВып. 3
300 _aВ надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР
320 _aБиблиогр.: с. 30-34
700 1 _7ca
_8rus
_aИванов
_bС. А.
_cд-р техн. наук, рентген. излучение
_gСтанислав Алексеевич
_9211553
_3RU\NLR\AUTH\770211609
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_jП51/94
942 _cBOOK
980 _aNB