| 000 | 01341nam0a22002771 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\467414 | ||
| 005 | 20250621094744.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005711482 | ||
| 090 |
_a7382757 _c7382757 |
||
| 100 | _a20030616d1988 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aИсточники излучения для рентгеновской литографии _e(По данным отеч. и зарубеж. печати за 1975-1987 гг.) _fС.А. Иванов, С.В. Кириенко, Г.А. Щукин |
|
| 210 |
_aМ. _cИзд-во ЦНИИ "Электроника" _d1988 |
||
| 215 |
_a34 с. _cил. _d21 |
||
| 225 | 1 |
_aОбзоры по электронной технике _fЦНИИ "Электроника" _vВып. 1372 _hСерия 4 _iЭлектровакуумные и газоразрядные приборы _vВып. 3 |
|
| 300 | _aВ надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 30-34 | ||
| 700 | 1 |
_7ca _8rus _aИванов _bС. А. _cд-р техн. наук, рентген. излучение _gСтанислав Алексеевич _9211553 _3RU\NLR\AUTH\770211609 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _jП51/94 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||