| 000 | 01017nam0a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\836919 | ||
| 005 | 20250622011636.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 006018634 | ||
| 090 |
_a7404294 _c7404294 |
||
| 100 | _a20041129d1984 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 | _aИспользование C-V метода для обнаружения аморфных включений в кремнии | |
| 210 |
_aНовосибирск _cИн-т физики полупроводников _d1984 |
||
| 215 |
_a19 с. _cил. _d18 |
||
| 225 | 1 |
_aПрепринт _fАН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников _v1-84 |
|
| 320 | _aБиблиогр.: с. 19 | ||
| 700 | 1 |
_aМажирин _bА.П. _gАлександр Петрович |
|
| 701 | 1 |
_aГерасименко _bН.Н. _gНиколай Николаевич |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j84-4/22132 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||