| 000 | 01157nam0a22002771 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\144141 | ||
| 005 | 20030307112452.0 | ||
| 010 |
_a5-230-10302-7 _9150 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005414534 | ||
| 090 |
_a7409433 _c7409433 |
||
| 100 | _a20030307d1993 u |0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aФизико-химические основы микроэлектроники _eСвойства тонких пленок _eУчеб. пособие _fВ.Г. Нефедов, Ю.С. Кулешов, О.Б. Гусев _gГос. ком. РФ по высш. образованию. С.-Петерб. гос. акад. аэрокосм. приборостроения |
|
| 210 |
_aСПб. _cСПбГААП _d1993 |
||
| 215 |
_a50 с. _cил. _d20 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 49 | ||
| 700 | 1 |
_aНефедов _bВ. Г. _gВячеслав Григорьевич |
|
| 701 | 1 |
_aКулешов _bЮ. С. _gЮрий Сергеевич |
|
| 701 | 1 |
_aГусев _bО. Б. _gОлег Борисович |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j94-4/9036 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||