000 01157nam0a22002771 4500
001 rc\144141
005 20030307112452.0
010 _a5-230-10302-7
_9150
035 _a(NLR Aleph) 005414534
090 _a7409433
_c7409433
100 _a20030307d1993 u |0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aФизико-химические основы микроэлектроники
_eСвойства тонких пленок
_eУчеб. пособие
_fВ.Г. Нефедов, Ю.С. Кулешов, О.Б. Гусев
_gГос. ком. РФ по высш. образованию. С.-Петерб. гос. акад. аэрокосм. приборостроения
210 _aСПб.
_cСПбГААП
_d1993
215 _a50 с.
_cил.
_d20
320 _aБиблиогр.: с. 49
700 1 _aНефедов
_bВ. Г.
_gВячеслав Григорьевич
701 1 _aКулешов
_bЮ. С.
_gЮрий Сергеевич
701 1 _aГусев
_bО. Б.
_gОлег Борисович
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j94-4/9036
942 _cBOOK
980 _aNB