| 000 | 01257nam0a22003011 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\471000 | ||
| 005 | 20030616172419.4 | ||
| 010 |
_a5-12-009334-5 _9940 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 005714691 | ||
| 090 |
_a7414924 _c7414924 |
||
| 100 | _a20030616d1988 u |0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aИонная имплантация и лучевая технология _f[Дж. С. Вильямс, Дж. М. Поут, Дж. Ф. Гиббонс и др.] _gПод ред. Дж. С. Вильямса, Дж. М. Поута _gПеревод с англ. А.М. Евстигнеева _gПод общ. ред. О.В. Снитко |
|
| 210 |
_aКиев _cНаукова думка _d1988 |
||
| 215 |
_a357, [1] с. _cил. _d22 |
||
| 300 | _aАвт. указаны в огл. | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 327-353 | ||
| 320 | _aПредм. указ.: с. 354-358 | ||
| 320 | _aПеревод изд.: Ion implantation and beam processing (Sydney etc., 1984) | ||
| 701 | 1 |
_aВильямс _bД. С. _gДж. С. |
|
| 702 | 1 |
_aСнитко _bО. В. _gОлег Вячеславович _4340 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j88-5/6711 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||