000 00923nam0a22002531 4500
001 rc\471787
005 20250621095845.0
035 _a(NLR Aleph) 005715425
090 _a7422353
_c7422353
100 _a20030616d1988 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aИспользование молекулярных и многозарядных ионов в процессе ионного легирования
_fК. Корнажински, К. Кищак, А. Лятушински и др.
210 _aДубна
_cОИЯИ
_d1988
215 _a10 с.
_cил.
_d22
225 1 _aПрепринт
_fОбъед. ин-т ядер. исслед.
_v13-88-621
320 _aБиблиогр.: с. 9-10 (10 назв.)
701 1 _aКорнажински
_bК.
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j88-6/6129
942 _cBOOK
980 _aNB