000 01376nam1a22002891i 4500
001 rc\3237385
005 20241212193316.0
021 _aRU
_b[73-15143]
021 _aRU
_b[73-14524]
035 _a(NLR Aleph) 007474486
090 _a7450983
_c7450983
100 _a20130115g1972 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _a z |||||
200 1 _aФизические основы ионно-лучевого легирования
_eМатериалы науч.-конф. Июнь, 1971 г., Горький
_f[Редколлегия: П.В. Павлов (ред.) и др.
_gМ-во высш. и сред. спец. образования РСФСР. Горьк. гос. ун-т им. Н.И. Лобачевского. Горьк. исслед. физ.-техн. ин-т "ГИФТИ". Ч. 1]-
210 _aГорький
_cБ. и.
_d1972-
215 _d25
320 _aСписки лит. в конце докл.
606 _aПолупроводники
_xЛегирование ионное
_jСборники
_2psbo
702 1 _aПавлов
_bП.В.
_4340
712 0 2 _4570
_aГорьковский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
_9791805
_3RU\NLR\AUTH\880562350
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j73-7/137
942 _cBOOK