| 000 | 01257nam0a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\849610 | ||
| 005 | 20041129092608.3 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 006030329 | ||
| 090 |
_a7521486 _c7521486 |
||
| 100 | _a20041129d1983 u |0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aОсаждение диэлектрических и проводящих слоев из газовой фазы при пониженном давлении _e(По дан. отеч. и зарубеж. печати за 1970-1982 гг.) _fА.С. Адонин, А.Н. Василищев, Л.С. Гарба, Л.Н. Михайлов |
|
| 210 |
_aМ. _cЦНИИ "Электроника" _d1983 |
||
| 215 |
_a52 с. _cил. _d20 |
||
| 225 | 1 |
_aОбзоры по электронной технике _fЦНИИ "Электроника" _vВып. 962 _hСерия 2 _iПолупроводниковые приборы _vВып. 7 |
|
| 300 | _aВ надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 49-52 | ||
| 701 | 1 |
_aАдонин _bА. С. _gАлексей Сергеевич |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _jП51/94 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||