000 01257nam0a22002651 4500
001 rc\849610
005 20041129092608.3
035 _a(NLR Aleph) 006030329
090 _a7521486
_c7521486
100 _a20041129d1983 u |0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aОсаждение диэлектрических и проводящих слоев из газовой фазы при пониженном давлении
_e(По дан. отеч. и зарубеж. печати за 1970-1982 гг.)
_fА.С. Адонин, А.Н. Василищев, Л.С. Гарба, Л.Н. Михайлов
210 _aМ.
_cЦНИИ "Электроника"
_d1983
215 _a52 с.
_cил.
_d20
225 1 _aОбзоры по электронной технике
_fЦНИИ "Электроника"
_vВып. 962
_hСерия 2
_iПолупроводниковые приборы
_vВып. 7
300 _aВ надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР
320 _aБиблиогр.: с. 49-52
701 1 _aАдонин
_bА. С.
_gАлексей Сергеевич
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_jП51/94
942 _cBOOK
980 _aNB