000 02542nam0a2200421 4500
001 RU\NLR\bibl\1043068
005 20260409072027.0
010 _a5-903072-71-2
_9500
021 _aRU
_b2006-83919
_94247
035 _a(nilc)RSL-KNO-003013261
035 _a(NLR Aleph) 001030456
090 _a755218
_c755218
100 _a20061219d2006 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa zzzz|||||
106 _ar
200 1 _aВведение в нанотехнологию: проблемы материаловедения, экономики и экологии
_eучебное пособие по курсу "Технология полупроводниковых материалов" для студентов, обучающихся по направлениям "Электроника и микроэлектроника" и "Радиотехника"
_fП.А. Арсеньев, А.А. Евдокимов, А.Г. Матвеева, Н.А. Яштулов
_gМ-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Моск. энерг. ин-т (техн. ун-т)
210 _aМосква
_cиздательский дом МЭИ
_d2006
215 _a46,[1] с.
_cил.
_d20
320 _aБиблиогр.: с. 46 (4 назв.)
606 _aНанотехнологии
_jУчебные издания для высших учебных заведений
_3RU\NLR\auth\66830353
_91835426
610 0 _aТехника и технические науки (в целом) -- Общая технология. Основы промышленного производства -- Нанотехнология -- Учебник для высшей школы
686 _aЖ6я73-1
_2rubbk
686 _aЖ6я73-1
686 _aЗ844.1я73-1
701 1 _aАрсеньев
_bП. А.
_gПавел Александрович
_4070
701 1 _4070
_aЕвдокимов
_bА. А.
_cд-р хим. наук
_gАнатолий Аркадьевич
_9150916
_3RU\NLR\AUTH\770150953
701 1 _4070
_8rus
_7ca
_aМатвеева
_bА. Г.
_cинженер-технолог
_gАнна Геннадьевна
_3RU\NLR\auth\7749743
_932678
701 1 _aЯштулов
_bН. А.
_gНиколай Андреевич
_4070
801 0 _aRU
_bРКП
_c20061219
_grcr
801 1 _aRU
_bРГБ
_c20061219
801 2 _aRU
_bNLR
_c20070209
_grcr
830 _aАвт. по кн.
942 _cBOOK
980 _aNB