| 000 | 01180nam0a22002771 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\3733866 | ||
| 005 | 20130115154109.3 | ||
| 021 |
_aRU _b89-ВП-1041/29-30 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 007780667 | ||
| 090 |
_a7565824 _c7565824 |
||
| 100 | _a20130115d1974 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _ay z ||||| | ||
| 200 | 1 |
_aСОВРЕМЕННОЕ состояние и перспективы развития автоматизации процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных схем _fЛ.Ю. Емельянова |
|
| 210 |
_aМинск _cБ. и. _d1974 |
||
| 215 |
_a11 с. _d20 |
||
| 225 | 1 |
_aЭкспресс-информация _fБелорус. НИИ НТИ и техн.-экон. исслед. Госплана БССР _iСерия "Радиотехника, электроника и электросвязь" |
|
| 309 | _aБез тит. л. и обл. | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 11 | ||
| 701 | 1 |
_aЕмельянова _bЛ. Ю. |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j89-4/8511 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||