000 01008nam0a22002651 4500
001 rc\489406
005 20250621103843.0
035 _a(NLR Aleph) 005731509
090 _a7583881
_c7583881
100 _a20030616d1987 |||y0rusy50 ca
101 0 _arus
102 _aRU
105 _aa |||||||||
200 1 _aПроекционная рентгеновская литография
210 _aМ.
_cФИАН
_d1987
215 _a35 с.
_cил.
_d20
225 1 _aПрепринт
_fАН СССР, Физ. ин-т им. П.Н. Лебедева ФИАН. Сектор теорет. квантовой радиофизики
_v№ 104
_iОптика и спектроскопия
320 _aБиблиогр.: с. 32-33
700 1 _aВиноградов
_bА.В.
_gАлександр Владимирович
701 1 _aЗорев
_bН.Н.
_f1915-
_gНиколай Николаевич
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j88-4/9807
942 _cBOOK
980 _aNB