| 000 | 01221nam0a22002651 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\3780159 | ||
| 005 | 20250530045401.0 | ||
| 021 |
_aRU _bРг4171а-76 |
||
| 021 |
_aRU _b76-1259 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 007230530 | ||
| 090 |
_a7725804 _c7725804 |
||
| 100 | _a20120207d1975 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa z ||||| | ||
| 200 | 1 |
_aВзаимодействие газов с твердыми телами _e(Поглощение и выделение газов твердыми телами) _eКонспект лекций по курсу "Вакуумная техника" для студентов дневного обучения специальности 0567 - Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение _fМ-во высш. и сред. спец. образ. РСФСР. Уральск. политехн. ин-т. им. С.М. Кирова |
|
| 210 |
_aСвердловск _cБ. и. _d1975 |
||
| 215 |
_a25 с. _cил. _d22 |
||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 25 | ||
| 700 | 1 |
_aКрюк _bВ.И. |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j76-4/11169 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||