000 01070nam0a22002891 4500
001 rc\3370590
005 20250609222316.0
021 _aRU
_b[74-82134]
035 _a(NLR Aleph) 007529844
090 _a7751622
_c7751622
100 _a20130115d1974 |||y0rusy50 ca
101 1 _arus
_cjpn
102 _aRU
105 _aa z |||||
200 1 _aТехнология ионного легирования
_fПод ред. С. Намбы
_gПер. с яп. В.Ф. Овчарова
_gПод ред. [и с предисл.] проф. П.В. Павлова
210 _aМосква
_cСов. радио
_d1974
215 _a158 с.
_cил.
_d16
320 _aСписок лит.: с. 140-156 (244 назв.)
606 _aПолупроводники
_xЛегирование ионное
_2psbo
702 1 _aОвчаров
_bВ.Ф.
_4730
702 1 _aПавлов
_bП.В.
_gПавел Васильевич
_4340
_4080
702 1 _aНамба
_bС.
_4340
801 0 _aRU
_bNLR
_gpsbo
801 1 _aRU
_bELAR
_2rusmarc
852 _aNLR
_j74-2/2164
942 _cBOOK
980 _aNB