| 000 | 01778nam0a2200385 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU\NLR\bibl\139430 | ||
| 005 | 20260408193324.0 | ||
| 021 |
_aRU _b2000-42963 _91989 |
||
| 035 | _a(NLR Aleph) 000136583 | ||
| 090 |
_a780951 _c780951 |
||
| 100 | _a20001227d2000 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 |
_arus _deng |
|
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aИспользование математического моделирования в исследовании, разработки и оптимизации фотолитографических процессов _fИвин В. В., Махвиладзе Т. М. |
|
| 210 |
_aМ. _cМАКС-пресс _d2000 |
||
| 215 |
_a30 с. _cил. _d21 |
||
| 225 | 1 |
_aПрепринт _fФиз.-технол. ин-т Рос. акад. наук _vN 22 |
|
| 313 | _aинтегральные схемы | ||
| 320 | _aБиблиогр.: с. 28-30 | ||
| 606 |
_aИнтегральные схемы _xПроизводство _xФотолитографический метод _jАвторефераты диссертаций _3RU\NLR\auth\661327006 _92208899 |
||
| 610 | 0 | _aФотолитография - математические исследования | |
| 610 | 0 | _aМикроэлектронные схемы интегральные - производство - математические исследования | |
| 675 |
_a776.001.573 _v3 _zrus |
||
| 686 |
_a18.31 _2rugasnti |
||
| 686 |
_a37.83 _2rubbk |
||
| 686 | _aЗ844.15-06 | ||
| 700 | 1 |
_aИвин _bВ. В. _4070 |
|
| 701 | 1 |
_aМахвиладзе _gТариэль Михайлович _4070 |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bRKP _c20001227 _gPSBO |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bRKP _c20001227 |
|
| 801 | 2 |
_aRU _bNLR _c20040708 _grcr |
|
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||