| 000 | 01444nam0a22003131 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | rc\33886 | ||
| 005 | 20250612172505.0 | ||
| 035 | _a(NLR Aleph) 008751570 | ||
| 090 |
_a7810574 _c7810574 |
||
| 100 | _a20021216d1991 |||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | _arus | |
| 102 | _aRU | ||
| 105 | _aa ||||||||| | ||
| 200 | 1 |
_aЧисленное моделирование диффузии примесей III и V групп в кремнии при высокотемпературной ионной имплантации _fТ.В. Бондарева, В.И. Кольдяев, Л.Н. Александров |
|
| 210 |
_aНовосибирск _cИн-т физики полупроводников _d1991 |
||
| 215 |
_a[1], 20 c. _cил. _d19 |
||
| 225 | 1 |
_aПрепринт _fАН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников _v4 |
|
| 320 | _aБиблиогр.: с. 16-17 | ||
| 606 | 1 |
_aКремний _xЛегирование ионное _2nlr_sh1 |
|
| 606 | 1 |
_aКремний _xПримеси _xДиффузия _2nlr_sh1 |
|
| 700 | 1 |
_aБондарева _bТ.В. _gТатьяна Владимировна |
|
| 701 | 1 |
_aКольдяев _bВ.И. _gВиктор Исаакович |
|
| 701 | 1 |
_aАлександров _bЛ.Н. _gЛеонид Наумович |
|
| 801 | 0 |
_aRU _bNLR _gpsbo |
|
| 801 | 1 |
_aRU _bELAR _2rusmarc |
|
| 801 | 2 |
_aRU _bNLR _c20050524 _2rusmarc |
|
| 852 |
_aNLR _j91-4/9815 |
||
| 942 | _cBOOK | ||
| 980 | _aNB | ||